簡易檢索 / 檢索結果

  • 檢索結果:共1筆資料 檢索策略: "魏大欽".ccommittee (精準) and ckeyword.raw="非晶矽"


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    以射頻矽甲烷電漿輔助化學氣相沉積法製備非晶矽薄膜太陽能電池元件之研究
    • 化學工程系 /99/ 碩士
    • 研究生: 周首成 指導教授: 洪儒生
    • 本研究係以射頻矽甲烷電漿輔助化學氣相沉積系統,藉由調配適當的反應參數反應壓力及三甲基硼(TMB)摻雜比等,分別進行本質非晶矽及p型非晶碳化矽薄膜之沉積,並針對薄膜的結構及光電性質加以分析,以探求非晶…
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